Sic-Siliziumkarbid-Keramik-Tablettplatten zum ICP-Ätzen

Produktdetail

Die in epitaktischen Wachstumsprozessen verwendeten Waferträger werden hohen Temperaturen und einer gründlichen chemischen Reinigung ausgesetzt. Mascera bietet hochreine Siliziumkarbid-Keramikträgerplatten an, die außergewöhnliche Hitzebeständigkeit, gleichmäßige Wärmeverteilung für eine gleichbleibende Epitaxieschichtdicke und -beständigkeit sowie robuste chemische Beständigkeit bieten.

Nichtoxidkeramik, Siliziumkarbidkeramik (SiC), ist ein superharter Werkstoff mit einer Mohshärte von bis zu 9,5. Siliziumkarbidkeramik verfügt nicht nur über hervorragende mechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur, wie hohe Biegefestigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Korrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit und niedrigen Reibungskoeffizienten, sondern auch über hervorragende mechanische Eigenschaften (Festigkeit, Kriechfestigkeit) bei hohen Temperaturen. Die Hochtemperaturfestigkeit bleibt bis 1600 °C erhalten und ist damit die beste aller Keramikwerkstoffe. Die Oxidationsbeständigkeit von Siliziumkarbidkeramik ist zudem die beste aller Nichtoxidkeramiken.

Mascera produzierte Siliziumkarbidkeramik in zwei Formen: gesintertes Siliziumkarbid (SSiC) und reaktionsgebundenes Siliziumkarbid (SiSiC). 

Gesinterte Siliziumkarbidkeramik wird aus hochreinen und nanometergroßen Rohpulvern hergestellt, die bei hohen Temperaturen zwischen 2100 °C und 2200 °C gesintert werden. Dieser Sinterprozess führt zu einer Verdichtung des Grünkörpers und einer Schrumpfung von ca. 20 %. Reaktionsgebundenes Siliziumkarbid hingegen verwendet mikrometergroßes Siliziumkarbidpulver und wird bei Temperaturen zwischen 1450 °C und 1700 °C gesintert. Im Gegensatz zu gesintertem Siliziumkarbid schrumpft reaktionsgebundenes Siliziumkarbid während des Sinterprozesses nicht.

Die höhere Sintertemperatur von gesintertem Siliziumkarbid führt zu verbesserten Leistungseigenschaften, darunter höhere Dichte, erhöhte Festigkeit und verbesserte Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit. Für Anwendungen, die keine derartigen Hochleistungseigenschaften erfordern, ist reaktionsgebundenes Siliziumkarbid eine kostengünstigere Wahl.

Haupteigenschaften von Siliziumkarbidkeramik

• Hohe Festigkeit bei hohen Temperaturen

• Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen

• Ausgezeichnete Verschleißfestigkeit

• Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

• Hohe Wärmeleitfähigkeit

• Ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit

• Hohe Härte

• Geringes Gewicht durch geringe Dichte
  

• Gute Korrosionsbeständigkeit

Typische Anwendungen von Siliziumkarbidkeramik

• Gleitringdichtungen

• Kugeln, Sitze, Laufbuchsen für Ventile

• Brennhilfsmittel

• Wärmetauscher

• Feste und bewegliche Turbinenkomponenten

• Mahlkörper

• Komponenten für Brenner

• Keramiklager

Materialdatenblatt

Verfügbare Formen von Siliziumkarbidkeramik

1. Keramikstab / Keramikstift / Keramikkolben

2. Keramikrohr / Keramikbuchse / Keramikhülse

3. Keramikring / Keramikscheibe / Keramikabstandshalter 

4. Keramikscheibe

5. Keramikplatte / Keramikblock

6. Keramikkugel

7. Keramikkolben

8. Keramiktiegel

9. Andere kundenspezifische Keramikteile

Verpackung & Versand