Sic-Siliziumkarbid-Keramik-Tablettplatten für die ICP-Ätzung

Produktdetail

Die in epitaktischen Wachstumsprozessen verwendeten Waferträger werden hohen Temperaturen und einer strengen chemischen Reinigung ausgesetzt. Mascera bietet Tablettplatten aus hochreiner Siliziumkarbid-Keramik an, die eine außergewöhnliche Hitzebeständigkeit, eine gleichmäßige Wärmeverteilung für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine robuste chemische Beständigkeit bieten.

Nichtoxidkeramik, Siliziumkarbidkeramik (SiC), ist ein superhartes Material mit einer Mohshärte von bis zu 9,5. Siliziumkarbidkeramik verfügt nicht nur über hervorragende mechanische Eigenschaften bei Raumtemperatur, wie hohe Biegefestigkeit, hervorragende Oxidationsbeständigkeit, gute Korrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit und niedrigen Reibungskoeffizienten, sondern auch über hervorragende mechanische Eigenschaften (Festigkeit, Kriechfestigkeit) bei hohen Temperaturen. Die Hochtemperaturfestigkeit kann bis zu 1600 °C aufrechterhalten werden, was die beste aller Keramikmaterialien ist. Auch die Oxidationsbeständigkeit von Siliziumkarbidkeramik ist die beste unter allen Nichtoxidkeramiken.

Mascera produzierte Siliziumkarbidkeramik in zwei Formen: gesintertes Siliziumkarbid (SSiC) und reaktionsgebundenes Siliziumkarbid (SiSiC). 

Gesinterte Siliziumkarbidkeramik wird durch die Verwendung hochreiner und nanofeiner Rohpulver hergestellt, die bei einer hohen Temperatur von 2100℃ bis 2200℃ gesintert werden. Dieser Sinterprozess führt zu einer Verdichtung des Grünkörpers und einer Schrumpfung von ca. 20 %. Andererseits verwendet reaktionsgebundenes Siliziumkarbid Siliziumkarbidpulver in Mikrometergröße und wird in einem Temperaturbereich von 1450℃ bis 1700℃ gesintert. Im Gegensatz zu gesintertem Siliziumkarbid unterliegt reaktionsgebundenes Siliziumkarbid während des Sinterprozesses keiner Formschrumpfung.

Die höhere Sintertemperatur von gesintertem Siliziumkarbid führt zu verbesserten Leistungseigenschaften, einschließlich höherer Dichte, erhöhter Festigkeit und verbesserter Oxidations- und Korrosionsbeständigkeit. Für Anwendungen, die solche Hochleistungseigenschaften nicht erfordern, ist reaktionsgebundenes Siliziumkarbid eine kostengünstigere Wahl

Haupteigenschaften von Siliziumkarbidkeramik

• Hohe Festigkeit bei hohen Temperaturen

• Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen

• Hervorragende Verschleißfestigkeit

• Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

• Hohe Wärmeleitfähigkeit

• Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit

• Hohe Härte

• Geringes Gewicht aufgrund geringer Dichte
  

• Gute Korrosionsbeständigkeit

Typische Anwendungen von Siliziumkarbidkeramik

• Mechanische Dichtungsringe

• Kugeln, Sitze, Ventilauskleidungen

• Ofenmöbel

• Wärmetauscher

• Feste und bewegliche Turbinenkomponenten

• Schleifmittel

• Militärische kugelsichere Platten

• Komponenten für Brenner

• Keramiklager

Materialdatenblatt

Verfügbare Formen aus Siliziumkarbidkeramik

1. Keramikstab / Keramikstift / Keramikkolben

2. Keramikrohr / Keramikbuchse / Keramikhülse

3. Keramikring / Keramikscheibe / Keramikabstandshalter 

4. Keramikscheibe

5. Keramikplatte / Keramikblock

6. Keramikkugel

7. Keramikkolben

8. Keramikdüse

9. Keramiktiegel
   

10. Andere kundenspezifische Keramikteile

Verpackung und Versand