siliziumkarbidplatten
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Sic-Siliziumkarbid-Keramik-Tablettplatten für die ICP-Ätzung
Die in epitaktischen Wachstumsprozessen verwendeten Waferträger werden hohen Temperaturen und einer strengen chemischen Reinigung ausgesetzt. Mascera bietet Tablettplatten aus hochreiner Siliziumkarbid-Keramik an, die eine außergewöhnliche Hitzebeständigkeit, eine gleichmäßige Wärmeverteilung für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epi-Schicht sowie eine robuste chemische Beständigkeit bieten. Bei Fragen senden Sie bitte eine E-Mail an info@mascera-tec.com oder rufen Sie +86 13860446139 an
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