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Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik für die Handhabung von Halbleiterwafern

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Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik für die Handhabung von Halbleiterwafern
  • MSJ/AL-013
  • Aluminiumoxidkeramik
  • Maßgeschneidert
  • 5 Stück pro Sorte
  • Halbleiterindustrie

Von Mascera hergestellter Endeffektor aus Aluminiumoxidkeramik, der als Roboterhand für die Handhabung und Bewegung von Halbleiterwafern verwendet wird. Es zeichnet sich durch präzise Abmessungen und thermische Stabilität aus, während seine glatte und abriebfeste Oberfläche dafür sorgt, dass beim Umgang mit Wafern keine Partikelkontamination entsteht.

Bei Fragen senden Sie bitte eine E-Mail an info@mascera-tec.com oder rufen Sie 86 13860446139 an

Produktdetail

Wafer-Handling-Endeffektoren werden auf Wafer-Handling-Robotern installiert und sind für den Transport von Siliziumwafern zu bestimmten Positionen verantwortlich. Die Oberfläche des Endeffektors kommt in direkten Kontakt mit den Wafern. Daher muss der Endeffektor präzise Abmessungen und thermische Stabilität sowie eine glatte, abriebfeste Oberfläche aufweisen, um sicherzustellen, dass es beim Wafer-Handling nicht zu Partikelkontaminationen kommt.

 

Aufgrund der Eigenschaften von Aluminiumoxidkeramiken, wie z. B. Hochtemperaturbeständigkeit, Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit und niedriger Reibungskoeffizient, mit einer maximalen Betriebstemperatur von bis zu 1750 % u00b0 C, weisen sie eine ausgezeichnete thermische Stabilität und überlegene mechanische, elektrische und hervorragende Eigenschaften auf thermische Eigenschaften. Aufgrund dieser Eigenschaften eignen sie sich hervorragend für hochwertige Komponenten und stellen sicher, dass die Leistungsanforderungen von Endeffektoren für das Wafer-Handling erfüllt werden.

 

Die keramischen Endeffektoren von Mascera werden aus hochreinem Aluminiumoxidpulver durch isostatisches Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung hergestellt und bieten eine hervorragende Oberflächengüte und Maßgenauigkeit, um den individuellen Anforderungen der Benutzer gerecht zu werden.


Produktmerkmale

  • Hohe Härte und Verschleißfestigkeit

  • Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit

  • Gute Isoliereigenschaften auch bei hohen Temperaturen

  • Hervorragende Hitzebeständigkeit

  • Überlegene mechanische Festigkeit

 

Materialdatenblatt

Material

Einheit

99,5 % Al2O3

99,8 % Al2O3

Reinheit

%

99,5

99,8

Farbe

---

Elfenbein

Elfenbein

Dichte

g/cm3

3,90

3,92

Wasseraufnahme

%

0

0

Mohs Härte

---

9

9

HV-Härte

---

1750

1800

Biegefestigkeit @25

Mpa

375

390

Bruchzähigkeit

Mpa.M1/2

4

4

Druckfestigkeit (25)

Mpa

2450

2500

Wärmeleitfähigkeit @25

W/M.K

29

32

Wärmeausdehnungskoeffizient
(25-1000
)

10-6mm/

8

8

Wärmeschockbeständigkeit

T()

180-200

180-200

Max. Arbeitstemperatur

1750

1750

Spannungsfestigkeit

Kv/Mm

22

22

Elektrischer Widerstand (@25)

Ω.Cm

1014

1014

Dielektrizitätskonstante 

(@1MHz, 25)

---

9.7

9.8

Dielektrischer Verlust (Tan Delta)
(@1MHz, 25
)

---

0,0001

0,0001


Verpackung und Versand

PakettypKarton mit Schaumstoffschutz
Zahlungsbedingungen

TT / Western Union / Paypal

50 % Zahlung per Vorkasse und 50 % vor dem Versand

Ladehafen Xiamen, China
LieferwegAuf dem See-/Luftweg/Tür-zu-Tür-Express

Ceramics End Effectors

Alumina handling arms


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