Anwendung von Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik in der Halbleiterindustrie
Aufgrund der extremen Empfindlichkeit von Siliziumwafern gegenüber Kontamination, wird die Waferverarbeitung typischerweise in ausgeführt eine Vakuumumgebung. Unter solchen Bedingungen sind die meisten für Roboterarme verwendeten Materialien im Allgemeinen ungeeignet für die Aufgabe. Die für diese verwendeten Materialien Arme müssen sehr beständig gegen hohe Temperaturen, Verschleiß sein und eine große Härte besitzen. Aluminiumoxid Keramik erfüllt diese Anforderungen perfekt, und macht es zu einem ausgezeichneten Material für die Herstellung von Roboterarmen, die in Halbleitergeräten verwendet werden.
Eigenschaften von Aluminiumoxid Keramik End Effektoren
（1）Hohe Reinheit
Die Halbleiterindustrie erfordert Materialien von extrem hoher Reinheit. Aluminiumoxid Keramik Endeffektoren werden aus hochreinem Aluminiumoxid, hergestellt, was das Risiko einer Kontamination effektiv reduziert und die Qualität und Leistung der Produkte sicherstellt.
（2）Verschleißfestigkeit
Während der Halbleiterfertigung, kommen Endeffektoren häufig in Kontakt mit verschiedenen Präzisionskomponenten. Die Verschleißfestigkeit aus Aluminiumoxid-Keramik ermöglicht den Endeffektoren, bei wiederholten Vorgängen eine stabile Leistung aufrechtzuerhalten, und ihre Lebensdauer zu verlängern.
（3）Hochtemperaturbeständig
Die Halbleiterfertigung beinhaltet Hochtemperaturumgebungen. Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren können unter solchen Bedingungen ohne stabil betrieben werden Erweichung oder strukturelle Verformung.
（4）Chemikalien Korrosion Beständigkeit
Bei Prozessen wie Reinigen und Ätzen, müssen Endeffektoren verschiedenen chemischen Flüssigkeiten ausgesetzt werden . Die chemische Korrosionsbeständigkeit von Aluminiumoxidkeramik gewährleistet ihre Stabilität in rauen Umgebungen.
（5）Elektrik Isolierung
Aluminiumoxid Keramik Endeffektoren besitzen hervorragende elektrische Isolierungseigenschaften, wodurch sie für Prozesse geeignet werden, die Stromisolierung erfordern , und Gewährleistung der Sicherheit von Halbleiterbauelementen.
Anwendungen von Aluminiumoxid Keramik Endeffektoren
（1）Wafer Handhabung
Aluminiumoxid Keramik Endeffektoren werden zum Greifen, Transportieren, und Platzieren von Wafern während der Waferherstellung und verwendet Testen von , insbesondere in Hochtemperatur- oder korrosiven Umgebungen.
（2）Chip Pick-and-Place
Beim Chip-Verpacken, werden Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren verwendet, um Chips von Wafern aufzunehmen und zu platzieren sie auf Substrate oder Pakete.
（3）Draht Bonding
Im Drahtbondingprozess der Chipverpackung können Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren zur präzisen Verwendung verwendet werden Platzieren und sichern Sie Drähte, um den Chip mit externen Schaltkreisen zu verbinden.
（4）Inspektion und Sortierung
Bei der Inspektion und Sortierung von Halbleitergeräten werden Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren zur Übertragung von Geräten verwendet von einem Standort zur Inspektionsausrüstung.
（5）Ätz und Abscheidungsausrüstung
Bei der Wartung und dem Betrieb von Halbleitergeräten werden Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren für die Handhabung und des Betriebs von Halbleitergeräten verwendet Installation von Komponenten in hohen Temperaturen oder korrosiven Umgebungen.
（6）Reinigungs- und Ätzprozesse
Während des Wafer-Reinigungs- und Ätzprozesses können Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektoren in chemischen Flüssigkeitsumgebungen ohne betrieben werden Schaden.
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