Anwendung von Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik in der Halbleiterindustrie
Aufgrund der extremen Empfindlichkeit von Siliziumwafern gegenüber Verunreinigungen wird die Waferverarbeitung üblicherweise in einer Vakuumumgebung durchgeführt. Unter solchen Bedingungen sind die meisten für Roboterarme verwendeten Materialien für diese Aufgabe im Allgemeinen ungeeignet. Die für diese Arme verwendeten Materialien müssen äußerst widerstandsfähig gegen hohe Temperaturen und Verschleiß sein und eine hohe Härte aufweisen.Aluminiumoxidkeramikerfüllt diese Anforderungen perfekt und ist daher ein ausgezeichnetes Material für die Herstellung von Roboterarmen, die in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen.
Eigenschaften von Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik
（1）Hohe Reinheit
Die Halbleiterindustrie erfordert Materialien von extrem hoher Reinheit.Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramikwerden aus hochreinem Aluminiumoxid hergestellt, wodurch das Kontaminationsrisiko wirksam reduziert und die Qualität und Leistung der Produkte sichergestellt wird.
（2）Verschleißfestigkeit
Bei der Halbleiterherstellung kommen Endeffektoren häufig mit verschiedenen Präzisionskomponenten in Kontakt. Die Verschleißfestigkeit von Aluminiumoxidkeramik ermöglicht es den Endeffektoren, bei wiederholten Vorgängen eine stabile Leistung aufrechtzuerhalten, was ihre Lebensdauer verlängert.
（3）Hohe Temperaturbeständigkeit
Bei der Halbleiterherstellung herrschen hohe Temperaturen. Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik können unter solchen Bedingungen stabil arbeiten, ohne dass sie weich werden oder sich strukturell verformen.
（4）Chemische Korrosionsbeständigkeit
Bei Prozessen wie Reinigen und Ätzen müssen Endeffektoren dem Kontakt mit verschiedenen chemischen Flüssigkeiten standhalten. Die chemische Korrosionsbeständigkeit von Aluminiumoxidkeramik gewährleistet ihre Stabilität in rauen Umgebungen.
(5) Elektrische Isolierung
Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik verfügen über hervorragende elektrische Isolationseigenschaften und eignen sich daher für Prozesse, die eine Stromisolierung erfordern, wodurch die Sicherheit von Halbleiterbauelementen gewährleistet wird.
Anwendungen von Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik
（1）Wafer-Handhabung
Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik werden zum Greifen, Transportieren und Platzieren von Wafern während der Waferherstellung und -prüfung verwendet, insbesondere in Umgebungen mit hohen Temperaturen oder Korrosion.
（2）Chip-Bestückung
Beim Chip-Verpacken werden Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik verwendet, um Chips von Wafern aufzunehmen und sie auf Substraten oder Paketen zu platzieren.
(3) Drahtbonden
Beim Drahtbonden von Chip-Verpackungen können Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik verwendet werden, um Drähte präzise zu platzieren und zu sichern und so den Chip mit externen Schaltkreisen zu verbinden.
(4) Inspektion und Sortierung
Bei der Inspektion und Sortierung von Halbleiterbauelementen werden Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik verwendet, um die Bauelemente von einem Standort zur Inspektionsanlage zu transportieren.
(5) Ätz- und Abscheidungsausrüstung
Bei der Wartung und dem Betrieb von Halbleitergeräten werden Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik zur Handhabung und Installation von Komponenten in Hochtemperatur- oder korrosiven Umgebungen verwendet.
（6）Reinigungs- und Ätzprozesse
Bei der Reinigung und Ätzung von Wafern können Endeffektoren aus Aluminiumoxidkeramik in Umgebungen mit chemischen Flüssigkeiten ohne Beschädigung betrieben werden.
Als führender Hersteller technischer Keramik ist Xiamen Mascera Technology Co., Ltd. auf kundenspezifische Keramik-Endeffektoren spezialisiert. Die derzeit produzierten Aluminiumoxid-Handlingarme eignen sich für verschiedene Hochleistungsanwendungen zur Handhabung von Halbleiterwafern, und ihre Aluminiumoxid-Keramikkomponenten finden bei den Kunden breite Zustimmung.
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