Gängige Formen von PBN-Tiegeln
PBN-Tiegel (Pyrolytisches Bornitrid)werden aufgrund ihrer zahlreichen Vorteile häufig eingesetzt. Sie verunreinigen die Materialien, die sie enthalten, nicht, was bei einigen Prozessen von entscheidender Bedeutung ist, bei denen selbst geringfügige Verunreinigungen die Endqualität beeinträchtigen können. Darüber hinausPBN-Tiegelbesitzen eine außergewöhnliche Wärmeschockbeständigkeit, sodass sie schnellen Temperaturwechseln standhalten können, ohne zu reißen. Diese Haltbarkeit macht sie auch unter rauen Bedingungen zuverlässig und gewährleistet ihre wiederholte Verwendung. Darüber hinaus weisen PBN-Tiegel elektrische Isoliereigenschaften auf, wodurch sie für Prozesse geeignet sind, bei denen elektrische Leitfähigkeit vermieden werden muss. PBN-Tiegel gibt es in verschiedenen Formen, die jeweils sorgfältig für bestimmte Anwendungen entwickelt wurden.
Zylindrische Tiegel
Zylindrische Tiegel werden häufig in Prozessen verwendet, die eine gleichmäßige Erwärmung erfordern. Ihr rundes Design gewährleistet eine gleichmäßige Wärmeverteilung, was bei Prozessen wie dem Kristallwachstum von entscheidender Bedeutung ist, da die Temperaturgleichmäßigkeit die Qualität der Kristalle direkt beeinflusst. Zylindrische Tiegel sind in vielen verschiedenen Größen erhältlich und werden in verschiedenen Branchen für unterschiedliche Erwärmungsanwendungen verwendet.
Konische Tiegel
Konische Tiegel zeichnen sich durch ein konisches Design aus, das das Ausgießen und Auffangen von Materialien erleichtert. Diese Form stellt sicher, dass geschmolzene Materialien gleichmäßig fließen, ohne zu verschütten. Konische Tiegel sind besonders nützlich bei Prozessen wie der Metallverdampfung, bei denen eine präzise Materialübertragung der Schlüssel zur Abfallminimierung und Gewährleistung der Prozesskonsistenz ist. Die schmale Basis des konischen Tiegels konzentriert die Wärme und ist daher besonders effektiv bei Prozessen, die eine lokale Erwärmung erfordern.
Schiffchenförmige Tiegel
Bootsförmige Tiegel sind so gestaltet, dass sie kleinen Booten ähneln und werden typischerweise in horizontalen Heizanlagen verwendet. Ihre längliche Form hilft dabei, das Material gleichmäßig zu verteilen, was bei Dünnschichtabscheidungsprozessen wie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) von entscheidender Bedeutung ist. Diese Tiegel lassen sich leicht be- und entladen, wodurch sie sich besonders für Prozesse mit dünnen Materialschichten eignen, und sie verringern das Risiko eines Materialüberlaufs während des Erhitzens.
Rechteckige Tiegel
Rechteckige Tiegel haben eine flache Oberfläche und eignen sich daher ideal zum gleichmäßigen Auslegen von Materialien. Diese Form wird häufig bei chemischen Reaktionsprozessen verwendet, die eine gleichmäßige Erwärmung erfordern. Rechteckige Tiegel eignen sich auch für Prozesse, bei denen Materialien an Ort und Stelle gehalten werden müssen, wie z. B. Festkörperreaktionen. Die flache Oberfläche gewährleistet einen konstanten Kontakt mit der Wärmequelle und erleichtert so eine gleichmäßige Wärmeverteilung während des gesamten Prozesses.
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